Тензопреобразователь Сафир

Тензопреобразователи используются для формирования непрерывного сигнала на выходе, который пропорционален уровню давления на вхде преобразователей. Данные приборы широко применяются в датчиках давления как первичные преобразователи.

В качестве тензочувствительного элемента микроэлектронного тензопреобразователя используют двухслойную сапфиро-титановую мембрану, состоящую из титановой мембраны, а также из присоединенной на всей поверхности к ней сапфировой мембраны благодаря специального диффузионного высокотемпературного технологического процесса.

Схема тензопреобразователя

Рис.1 Схема тензопреобразователя

  1. Тензочувствительная схема из кремния р-типа;
  2. Омические контакты;
  3. Сапфировая мембрана (AI2O3);
  4. Титановая мембрана (Ti);
  5. Жесткий центр чувствительного элемента.
Технические характеристики
Наименование Значения  
Интервал рабочих давлений, МПа 0-0,25 до 0-150
Предельное давление перегрузки, %  
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 0,6 МПа 200
для рабочего инетервала от 0 - 1 МПа до 0 - 25 МПа 160
для рабочего инетервала от 0 - 40 МПа до 0 - 60 МПа 150
для рабочего инетервала от 0 - 100 МПа; 0-150 МПа 125
Давление продавливания (разгерметизации), %  
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 0,6 МПа 250
для рабочего инетервала от 0 - 1 МПа до 0 - 60 МПа 200
для рабочего инетервала0-100 МПа; 0-150 МПа 150
Диапазон выходного сигнала (FS) должен быть в пределах, мВ 270-420
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа 100-200
для рабочего инетервала от 0 - 0,4 МПа 150-250
для рабочего инетервала от 0 - 0,6 МПа 200-300
Разрешающая способность, % 0,01
Вариация, % 0,05
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0-1,6 МПа 0,1
Нелинейность, % 0,15
для рабочего инетервала от 0 - 0,25 МПа до 0 - 1,6 МПа 0,2
Инетервал рабочих температур -50...80 °С
Допустимая погрешность от воздействия температуры окружающей среды  
изменение начального значения выходного сигнала, мВ/10°С ±1,5
изменение инетервала выходного сигнала, %/10°С -0,2±0,5
Дополнительная погрешность от воздействия температуры окружающей среды для исполнения  
изменение начального значения выходного сигнала, мВ/10°С ±0,2
изменение диапазона выходного сигнала, %/10°С 0,1±0,2
Начальное значение выходного сигнала в нормальных условиях, мВ ±10
Величина сопротивления моста в нормальных условиях, кОм 4,5±0,35
Сопротивление изоляции в нормальных условиях, МОм 100
Электрическая прочность изоляции, В 500
Питание стабилизированным постоянным током, мА 1-2